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如何選購(gòu)勻膠機(jī)旋涂?jī)x
作者：Helicoater 時(shí)間：2021-12-22 累積關(guān)注：4150 次
選購(gòu)勻膠機(jī)（spin coater）的三要素
勻膠機(jī)有很多種稱謂，（英文叫Spin Coater或者Spin Processor），又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥�，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多，良莠不齊現(xiàn)象，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
從其原理來(lái)說(shuō)，我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的三個(gè)要素：
1、旋轉(zhuǎn)速度控制精度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。有的品牌的勻膠機(jī)仍在采用旋鈕或按鍵的控制方式，操作不便利，精度也很粗糙，無(wú)法實(shí)現(xiàn)精確控制。某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。這也都是不合格的勻膠機(jī)。目前也有做的比較好的品牌，比如赫里科特（helicoater）的HC系列勻膠機(jī)，淘汰了落后的控制方式，全部采用彩色觸摸屏加高級(jí)PLC進(jìn)行程序控制，使用體驗(yàn)非常好。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
首先提供真空的真空泵一定要采用無(wú)油真空泵，還要考慮由于誤操作導(dǎo)致的意外吸膠，如果氣路被膠液堵塞，將損壞設(shè)備內(nèi)的電子器件，堵塞電機(jī)軸，而且維修困難，影響設(shè)備的正常使用。在防堵膠方面，赫里科特（Helicoater）的做法值得推廣，HC系列勻膠機(jī)均配置有儲(chǔ)液腔，當(dāng)有膠液意外進(jìn)入管路，將在儲(chǔ)液腔內(nèi)截留并存儲(chǔ)，不會(huì)影響管路后續(xù)元器件的正常使用，定期清理也很方便。這個(gè)特殊的設(shè)計(jì)非常有用，成為勻膠機(jī)設(shè)備的一個(gè)額外的保險(xiǎn)裝置。為了防止由于真空度不足，導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，赫里科特（helicoater）全系列勻膠機(jī)（HC150，HC160，HC220）均配置有真空安全檢測(cè)裝置和蓋子安全互鎖裝置，確保操作者安全。
3、材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，有些低端勻膠機(jī)采用的是PP注塑成型的內(nèi)腔，或者是采用沖壓成型的金屬盆做為內(nèi)腔，這些材質(zhì)對(duì)各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，而且這種內(nèi)腔是呈上口大下口小的錐形，高速旋涂過(guò)程中，甩出的溶液與內(nèi)腔壁碰撞后，會(huì)回濺到基片上，造成基片質(zhì)量下降。造成這種情況的原因是，注塑成型或沖壓成型加工方式為了便于脫模，必須加工成上口大下口小的形狀，材料成本低，加工成本也低，損害的設(shè)備的品質(zhì)，降低了用戶使用體驗(yàn)。在這個(gè)細(xì)節(jié)方面，赫里科特（Helicoater）堅(jiān)持采用大尺寸耐腐蝕HDPE材料，采用CNC加工中心按照?qǐng)D紙一體化精細(xì)加工成型，內(nèi)腔表面光潔，內(nèi)腔壁呈凹面結(jié)構(gòu)，上口小，下口大，高速甩出的溶液與內(nèi)腔壁碰撞后，向下方濺射，有效避免了膠液回濺，對(duì)于重視薄膜質(zhì)量的用戶來(lái)講，這將非常關(guān)鍵。